亚新官方网站为掩模生产过程中的测量提供高精度、高重复性系统，适用产品包括但不限于COG和PSM。

针对掩模来料测量，亚新官方网站提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布，同时系统提供可见光和紫外光照明，均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300nm的特征尺寸，3sigma重复性通常在纳米范围内。