CAE辅助设计分析，减少结构设计的偏差，提高结构的稳定性，保证精度的长期稳定
经典的移动桥式设计，结构简单、紧凑、开敞性好、运动速度快，提供高效率、高精度的测量
三轴均采用花岗岩材质，确保膨胀系数的一致性
采用独特的矩形横梁结构，增加结构的刚性，保证机器快速、平稳、精确
高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，有效确保稳定性
三轴采用高分辨率光栅尺，保证了良好的精度
三轴采用伺服电机驱动，并且电机安装在各轴的远端，有效的规避了电机工作产生的热量对测量机局部温度的影响
Z轴采用平衡气缸，即保证Z轴上下移动的一致性，又可在紧急情况下确保探测系统的安全
