仪器特点

CAE辅助设计分析，减少结构设计的偏差，提高结构的稳定性，保证精度的长期稳定

测量机采用固定桥式的高刚性机械结构，使用花岗岩横梁、底座和立柱，以及精密SIC陶瓷Z轴的组合，保持机械结构的稳定性及抗外界干扰能力强

创新性地将高精密直线电机驱动技术应用坐标测量机的运动驱动部位，零传动、非接触、无摩擦，提高了传动刚性，实现了更高的速度、加速度及定位精度，提高工件测量效率，保证超高的测量精度

采用零膨胀系数光栅尺，分辨率超高达到纳米级别，且不受外界温度影响，保证机器的高精度和稳定性

各轴采用预载空气轴承，且环抱式布局，高刚性、无接触、低摩擦以及低磨损，有效保持机器的使用寿命，减少测量不确定性的发生次数

Z轴采用平衡气缸气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全

SIC陶瓷Z轴，热膨胀系数小、刚性强以及质量轻等优点，保证测量系统的稳定性的同时亦提高运动特性

三轴光栅尺与载台配置了温度传感器，实时监控温度变化，并进行有效补偿，确保整机的精度稳定性