仪器特点

CAE辅助设计分析，减少结构设计的偏差，提高结构的稳定性，保证精度的长期稳定

单边直线电机驱动移动桥结构，移动质量更轻，驱动更接近移动质心，有效提高了运动性能与精度稳定性

CMU 大理石版本三轴均采用花岗石材料，具有相同的热膨胀系数，从而减少了由于热膨胀引起的误差，确保设备的高精度与高稳定性

CMU陶瓷版本采用了新型材料，移动桥在质量更轻的同时，具备更高刚性与更低温度线膨胀性能，极大提高了精度与长期可靠性

高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，具备气浮压力监测功能，有效确保稳定性

三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺，对温度变化不敏感，有效提高整机的精度

三轴采用精密直线电机驱动，零传动、非接触、无摩擦，取消了中间传动机构，有效提高传动刚度与精度

Z轴采用平衡气缸气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全

三轴光栅尺与载台配置了温度传感器，实时监控温度变化，并进行有效补偿，确保整机的精度稳定性